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靜電吸盤的基本構造和原理

1。種類：基本分為兩類。 · 2。兩類吸盤都靠靜電荷的同性相吸來固定Wafer。 · 3。吸盤與晶片接觸的表面有一層電介質。 · 4。在吸盤的電介質層中鑲嵌著一個直流電極（大小與硅 ...

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