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靜電吸盤 - 中文百科知識

靜電 卡盤系統由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈衝保護；靜電吸附單元電極採用高頻導體，表面一種採用氮化鋁 ...

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