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静电吸盘ESC - 交流学习- 启闳半导体科技

静电吸盘结构 一般由吸盘基体、表面陶瓷介质层(内嵌直流电极)、氦气沟道、温度传感器、冷却液通道和射频引入端等部分构成，如图8-256所示。

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