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靜電吸盤結構
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半導體使用的靜電吸盤 - 創造科學先進電子股份有限公司
半導體製造設備使用的靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC). 近年來隨著數位化的發展,半導體已成為大家生活中的一部分,創造科學所開發的 ...
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