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開發半導體產業鏈之國產靜電力吸盤計畫 - 新竹SBIR

增加，專業分工的產業結構已然形成，許 ... Manufacturers, IDMS) 受到產業結構的調整與. 總體大環境的衝擊，基於成本效益 ... 發之靜電吸盤（E-Chuck）為真空製程設備.

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