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J-R型氮化铝陶瓷静电吸盘的设计与制造 - 手机知网

典型的静电吸盘夹持系统一般是一个三明治结构:上下两层为电极,中间夹着一层电介质。而在实际简单的应用中,硅片充当上表面的电极,下电极和电介质被整合制造在一个器件中,即 ...

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