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半導體蝕刻機所用靜電盤為何?

國內外半導體廠零件廠均積極研發靜電吸盤（ESC），經多年努力，產品已獲得台積電、 ... 各零件廠商都想進入此一市場，但難度真的很高，但建泓科技在技術提升下的材料、 ...

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