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日本企業占據主導，我國靜電吸盤進口依賴度仍較高 - 今天頭條

庫倫型靜電吸盤與晶片接觸的表面之介電層為高阻抗陶瓷材料。陶瓷層中夾有一層導電電極層，當電極被接通到高壓直流電源後，介電質的表面會產生極化 ...

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