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半导体零部件(3)-静电吸盘 - 韭研公社

静电吸盘 ，又称静电卡盘（ESC, E—Chuck），是一种利用静电吸附原理加持固定被吸附物的夹具，适用于真空和等离子体环境，主要作用是用于吸附超洁净 ...

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