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奈米尺度電性縱深分析(DHEM) - 台灣半導體研究中心

機台: 差分霍爾效應量測(Differential Hall Effect Metrology) ... 縱深載子遷移率 (Mobility Profile) :不同深度下的載子遷移率. 4, 縱深載子濃度

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