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自動化載具運行引致之廠房樓版微振動分析AGV/RGV Induced ...

境振動標準，製程設備過重將造成樓版負擔，降低樓版剛度，或無人搬運 ... 版頻率超過25Hz 後皆能夠達到標準值。以Nikon 微影掃描機之最大容.

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