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Hts 微波電漿機台設計物理概念及工程特點介紹 - 立盈科技

一、 設計物理概念. 電漿機台必須能夠有效的產生電漿並展現均勻的電漿處理能力。為了達成這兩項要求，. 機台設計必須能在1.電漿激發物理及機構，2.

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