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複合材料薄膜電阻與溫度特性研究及檢測設備製作開發學生

複合材料薄膜的XRD繞射結果呈現非晶相，同時電阻對於溫度的特性曲線也產生急劇變化現象；. 當O. 2. 流量增加至2.7 sccm時，TiN-TiO.

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