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微機電壓力感測器電路設計分析與測試 - 中華大學
圖3-5 壓力薄膜上壓電阻受上變形情況:(a)表示薄膜受壓力時邊緣表面都 ... 表6-2 全磊微機電及矽微電子使用不同量測電路所產生的溫度係數 ... 體積變化率公式如.
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