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CTIMES- MEMS壓力感測器可靠度分析

本文所研討的MEMS壓力感測器都是以大型微機械式的壓阻式感測器（bulk ... 要加上壓力測量及溫度補償功能，就必需在組裝時以雷射修整CrSiN薄膜電阻的方式來完成。

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