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胎壓偵測-MEMS 壓力感測器原理 - ITW01

MEMS Pressure Sensor的主要結構是有一個或多個壓力敏感的膜層(pressure sensitive membranes)形成空腔結構，當外部氣體壓力發生變化的時候空腔膨脹導致膜 ...

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