探針之間產生電壓(V),薄膜電阻率ρ則可由下列公式得到: ρ = Rs× T = [C.F.×(V/I)] ×T ρ為薄膜電阻率(μΩ-cm);Rs 為片電阻(Ω);T 為鍍膜厚度(cm);而C.F.為.
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