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壓力輔助式電鑄對鑄層薄膜性質影響之研究研究成果報告(精簡版)

在LIGA 製程中，電鑄技術是唯一可. 產生金屬結構之製程。微電鑄之基本原. 理，如同傳統電鍍原理[3]，是將金屬沈積. 於具有導電層的PMMA 微模仁上，得到具.

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