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電鑄電鍍
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微機電LIGA製程之銅合金電鑄技術開發
摘要由於半導體銅鑲嵌製程的發展,且銅因具有高導電、高導熱等優點,故本研究以低成本之直流電鍍技術來沉積銅合金,並應用於微機電LIGA製程中微結構之製作。
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