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以電鍍方式沉積銅金屬導線應用在超大型積體電路之研究

銅可以利用物理方式、化學方式或電化學方式沈積，因為電鍍法相較於傳統的濺鍍法或化學氣 ... 電鍍方式沈積銅膜，首先探討沈積速率，施加電流大小以及電鍍時間三者的影響。

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