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电镀铜工艺仿真案例丨浙江鸿之微

电镀铜 工艺仿真. 本案例结合计算流体力学，电化学等计算方法，对集成电路晶圆镀铜进行研究。模拟仿真电流收集器对于电势、流场、电流密度、镀铜厚度等参数进行分析， ...

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