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Nokota™ ECD | Applied Materials

VMax™ 製程反應室可最有效控制批量傳送，能在高電鍍速率下形成極佳的共面。通過將反應室內清潔裝置整合至每個製程反應室中，可在處理後立即沖洗晶圓。 模組Nokota 系統採用 ...

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