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多孔矽電化學蝕刻法及電鍍法之整合研究 - 中國文化大學

步驟一將利用不同電流密度探討其結構，以. P-Type、N-Type 試片進行結構探討，P-Type 主要以島塊為主，而. N-Type 主要以細且深孔洞為主。蝕刻完畢後電鍍 ...

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