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科研前线| 铜互连还能续？应材工艺创新成果发布

电阻是造成BEOL环节RC延迟的主要原因，为了进一步发展铜互连技术，这一问题 ... 电性能通过选择性阻挡方法证实了通孔电阻优化；TDDB*和电迁移*可靠性 ...

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