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金属互连线电迁移的影响因素

结果表明，与铝硅合金互连线相比，在同样电流密度条件下，无论是电势梯度最大值还是热通量最大值，铜互连线的均高于铝互连线的，从而将加速互连线的电迁移；在一定的温度 ...

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