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Endura Volta Cobalt CVD

銅與介電質阻擋層之間在界面層處的高質量接合，對避免電遷移失效至關重要。Volta 系統絕佳的(>100:1) 選擇性金屬覆蓋製程可強化銅介電質界面層處的粘附，進而 ...

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