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铜微互连线的原子迁移失效研究-手机知网

铜比铝具有更低的电阻率、更好的抗电迁移性能,已经成为新一代互连材料,但是针对铜互连的原子迁移研究还远远不够。本文以铜微互连线为研究对象,结合多物理场耦合模拟和 ...

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