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電遷移銅
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三维封装电迁移Cu互连线的多物理场模拟仿真
铜比铝的电阻率低,抗电迁移性能更好,是新一代的可靠互连材料,但是对铜互连的原子迁移研究仍有不足。 现有的电迁移(Electromigration)可靠性解析化模型主要 ...
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「電遷移銅」
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