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材料分析如何協助先進製程設備改善缺陷 - TechNews 科技新報

極紫外光（EUV）曝光機所使用的光罩上，若有一微小的 ... 關於上述大型設備零件的研究試樣，通常都需要裁切成10~20mm 左右較小的尺寸，方能送進真空 ...

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