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電的原理
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奇妙的電漿與電漿的應用
... 電漿也廣泛的應用在半導體製造中,像薄膜沉積製程中的濺鍍、化學氣相沉積;蝕刻製程的乾式蝕刻與佈植技術方面,都是用電漿原理來實現半導體的製程,而其中佈植領域的電 ...
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「電的原理」
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