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鋼版印刷厚膜及其轉印於可撓性基板之壓電致動器之研製

鋼版印刷法 ； PZT ； 轉印技術 ； 壓電致動器 ； stencil printing method ... 本研究藉由鋼版印刷法於矽基板上印製微米等級之PZT壓電厚膜，並且結合轉印技術，將厚膜 ...

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