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大氣壓常壓電漿 - 政府研究資訊系統GRB

關鍵字：大氣壓（常壓）電漿；管狀電極；微電漿（#plasma)技術；製程參數優化. 由於大氣壓（常壓）的環境之下 ... 高頻電漿輔助化學氣相沉積設備之電漿量測系統開發.

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