你即將離開本站

並前往https://ah.nccu.edu.tw/bitstream/140.119/34351/8/901008.pdf

第四章個案分析與結果-以蝕刻技術為例

濕蝕刻三步驟為擴散→反應→擴散出，如圖4-1 所示。 ... 電漿蝕刻類似濕蝕刻，利用化學反應，具有等向性和覆蓋層下薄膜的底切現象，. 由於電漿離子和晶片表面的有效 ...

確定！ 回上一頁

查詢 「電漿蝕刻步驟」的人也找了：

  1. 乾蝕刻步驟
    2.
  2. 蝕刻製程ppt
    3.
  3. icp蝕刻原理
    4.
  4. 乾蝕刻濕蝕刻比較
    5.
  5. rie蝕刻原理
    6.
  6. 電漿蝕刻氣體
    7.
  7. 感應耦合電漿蝕刻
    8.
  8. 電漿蝕刻優點
    9.