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電漿蝕刻步驟
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https://books.google.com.tw/books?id=Z7xFCgAAQBAJ&pg=PA244&lpg=PA244&dq=%E9%9B%BB%E6%BC%BF%E8%9D%95%E5%88%BB%E6%AD%A5%E9%A9%9F&source=bl&ots=W9-diYPkuo&sig=ACfU3U3asaC8zHbV2AvFb92nLEzayJy3TA&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwins_3A4t7_AhWTHXcKHZibAVAQ6AF6BQimARAD
圖解光電半導體元件 - 第 244 頁 - Google 圖書結果
蝕刻 n 寸的步驟是攸關整個製程成功與否的關鍵,此步驟需要對於本質氫化非晶矽蝕刻 ... 自從司看山電漿製程來輕易的使 n "和背通道介電質層之間的蝕刻具有高選擇比後, ...
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