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電漿蝕刻原理

「乾式」 ( 電漿) 蝕刻主要用於形成電路的製程步驟；「濕式」 ... 乾蝕刻沒有液態的蝕刻溶液，主要分為物理濺擊或離子銑削、電漿蝕刻、與介於兩者之間 ...

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