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迎戰晶圓均勻度挑戰電漿蝕刻製程控制技術求新求變 - 新電子雜誌

在本文中，我們將討論如何在電漿蝕刻製程中控制晶圓的製程均勻度，此技術在 ... 度結果是已知的且不易修正時，是可以改變蝕刻步驟影響均勻度的結果。

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