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【面板制程刻蚀篇】史上最全Dry Etch 分类 - 行家说

如上图所示，一个仅基于化学反应机制的理想干蚀刻过程可分为以下几个步骤. （1） 刻蚀气体进入腔体，在电场作用下产生电浆形态之蚀刻物种，如离子及 ...

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