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利用光譜儀監測基於電漿的蝕刻製程- 電子技術設計 - EDN Taiwan

電漿 有一系列的應用，包括元素分析、薄膜沉積、電漿蝕刻和表面清潔。透過對電漿樣品的發射光譜進行監測，可以為樣品提供詳細的元素分析，並能夠確定控制 ...

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