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ICP (Elionix EIS 700) - 中研院物理所公用儀器

儀器全名：電感耦合電漿蝕刻系統Inductively Coupled Plasma Etching System ... 本機台配有Ar, O2, C4F8, SF6四種氣體，所有蝕刻參數步驟可經由電腦自動化 ...

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