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常壓電漿噴束於矽晶圓織構化之研究 - 勤益科大機構典藏

本研究使用常壓電漿噴束預先處理矽晶圓表面，再利用氫氧化鈉(NaOH)水溶液做為蝕刻液，透. 過控制溫度與時間參數，改善矽晶圓織構化(Texturization)製程，利用OM 及SEM ...

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