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(12)發明說明書公開本

分別以大約15 sccm 及大約80 sccm 流動30 秒而. 經過二步驟電漿蝕刻程序。在不同實施例中,基板係在介於大約10℃及大. 約50℃之間的溫度且在介 ...

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