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什麼是蝕刻(Etching)？ - Sherry's Blog

在電漿蝕刻製程中，蝕刻劑注入反應室內並於電漿中分解。自由基會擴散到介面層並且被 ... 濕蝕刻三步驟為擴散→反應→擴散出。 濕蝕刻進行時，溶液中的 ...

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