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電漿蝕刻步驟
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蝕刻技術(Etching Technology)www.tool-tool.com
利用電漿將蝕刻氣體解離產生帶電離子、分子、電子以及反應性很強(即高活性)的原子團(中性基Radical),此原子團與薄膜表面反應形成揮發性產物,被真空幫 ...
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