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電漿磁場
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電漿源原理與應用之介紹 - Scribd
於碰撞頻率等於射頻功流方向的時變磁場(B),此磁場穿透介電窗,於電漿率頻率時,碰撞加熱效果最好。在一般工業應用之弱腔中感應產生一與RF 電流反向之電場(E),此電場 ...
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