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電漿磁場
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國立彰化師範大學共同儀器電漿耦合式離子蝕刻機對外服務辦法
電漿 藕合式離子蝕刻機是利用兩個射頻電源產. 生高密度電漿進行蝕刻,一個射頻電源利用螺. 旋電桿線圈產生電漿,而電漿之電流與射頻的. 電流由該射頻產生之磁場耦合, ...
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