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電漿磁場
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電漿反應器www.tool-tool.com
配合適當大小和方向的磁場,可使高頻能源傳遞進入電漿的效率提高,現在正熱門的高密度電漿,如Helicon、ECR 即採此原理,在高真空度下產生高解離率的電漿 ...
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