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電漿磁場
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ftp://s220ftp2.tipo.gov.tw/PatentPubXML/109/PatentPubXML_047010/4710I689986/106101699-A0305.xml
電漿處理方法及電漿處理裝置
。 在如上述而構成的裝置,係供應至真空容器101內的處理氣體,由於經由頂板102而導入的微波的電場與透過螺線管線圈而形成的磁場的作用(例如,電子迴旋諧振:Electron ...
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