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電漿的功用
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99 年度電子半導體生產設備製造業原物料耗用通常水準
生產製造凸塊UBM 用真空濺鍍設備、高密度電漿機台;以電漿技術為核心,. 發展電漿蝕刻 ... 傳輸及支撐用,其功用相當於導線架之引腳,方法有真空吸取(Vacuum.
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