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脈衝電漿注入真空表面改質技術

(如用於半導體製程之注入),才採直流注入. 法。當工件浸沒於電漿(電漿Base)空間,工. 件加上高電壓脈衝偏壓,曳引周圍電漿中離子. 注入,稱之為電漿浸沒式離子注入(Plasma.

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