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電漿的功用
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奇妙的物質第四態——電漿 - 科技大觀園
電漿 在積體電路的加工中,主要用於蝕刻。其工作原理就是利用電漿在臨近邊界(即積體電路板面)處產生的鞘層電場。這樣,電漿中 ...
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